S6 · ለሴሚኮንዳክተር UHP 316L
ሴሚኮንዳክተር UHP 316L (ለ316L/304L የሚዲያ እና የድንበር ዝርዝር)
ከሴሚኮንዳክተር UHP 316L ጋር የተያያዙ ሚዲያዎችን፣ ደረጃዎችን እና የድንበር ሁኔታዎችን ይዘርዝሩ፡ 4 የተለመዱ ክፍሎች/ሁኔታዎች፣ የሚመከሩ ደረጃዎች፣ ዝርዝር መግለጫዎች፣ የውድቀት ምክንያቶች እና ደረጃዎችን ጨምሮ።
አራት ክፍሎች እና የቁስ ዝርዝር
| ክፍል / አካል | የሚመከር ደረጃ | ዝርዝር መግለጫዎች / ውፍረት | ገጽታ | የውድቀት ዓይነቶች | የማጣቀሻ ደረጃዎች |
|---|---|---|---|---|---|
| የUHP ጋዝ ማስተላለፊያ ቧንቧዎች | 316L VIM-VAR | የመለጠጥ ጥንካሬ፡ 0.010%， ሰልፈር (S)፡ ≤0.05%， ኦክስጅን (O)፡ ≤0.07%， ተበካዮች፡ ≤0.5 ደረጃ ASTM E45 A/B/C/D， ጥቃቅን አወቃቀር፡ ጥሩ ተከታታይ | ሜካኒካል ፖሊሺንግ Ra≤0.25μm → ኤሌክትሮላይቲክ ፖሊሺንግ Ra≤0.13μm፤ ከፍተኛ-ደረጃ Ra≤0.05μm | የቅንጣት/የብረት አዮን ብክለት ዋናው የውድቀት ዓይነት ነው፤ በብረት ቅልቅል ውስጥ ያለ የጥራጥሬ መሀይምነት/ሙቅ ዞን ሁለተኛ ደረጃ ነገር ግን ችላ ሊባል የማይገባው ነው | SEMI F20 Grade 5；SEMI F19；SEMI F57 |
| ልዩ ጋዞች ቫልቭ አካላት / ተቀናሽ ቫልቮች / ዳያፍራም ቫልቮች | 316L VIM-VAR የተጠረቡ ክፍሎች | S≤0.005% | ኤሌክትሮፖሊሺንግ Ra≤0.2μm | ነጻ ብረት የለም | SEMI F20 4.6.2；ASTM A182 |
| ከመቀመጫ እስከ ቱቦ ግድግዳ ርቀት >1D | 316L CMP/እርጥብ ኤሌክትሮኒክ ኬሚካል ቧንቧዎች | EP/PFA/PTFE ሽፋኖች | Ra≤0.2μm | የመፍጨት ልብስ + ጠንካራ አሲዶች/ኦክሲዳይዘሮች + ቅንጣት ማቆየት | SEMI F20；SEMI F57 |
| የቫኪዩም ክፍሎች/ሽፋኖች | 304L/316Lደረጃ | ዝቅተኛ የአየር ማስወጫ መጠን ቁልፍ ነው፣ ሰልፈር ወይም ኦክስጅን አይደለም | 2B/ ኤሌክትሮ-ፖሊሽ/አሲድ ማጠቢያ | በቂ ያልሆነ የአየር ማስወጫ → የቫኪዩም መውረድ፤ በመጠገን ጊዜ መፍሰስ | ASTM A240；ISO 3669 |
ሰንጠረዡ ያካትታልመደበኛ ውቅርተመሳሳይ ክፍል እንደ ሚዲያ፣ የሙቀት መጠን እና የመጠገን ዘዴ 304፣ 316L ወይም 2205 ሊጠቀም ይችላል—ደረጃዎችን ከመግለጽ ይልቅ ሁኔታዎችን በተሻለ ያብራሩ።
የቁስ ግምት
- በዚህ ኢንዱስትሪ ውስጥ በጣም የተለመዱት ደረጃዎች 316L (4)፣ 304L (1) ናቸው —— በቅንፍ ውስጥ ያሉት ቁጥሮች የተጎዱ አካባቢዎችን ብዛት ያመለክታሉ፣ ለዋጋ ማቅረቢያ እና ለቁስ ዝግጅት ጠቃሚ ነው።
- በአሲዳማ ሚዲያ ውስጥ 316L መነሻ ብቻ ነው፤ ክምችቶች እና የሙቀት መጠኖች ሲጨምሩ 904L / ዱፕሌክስ (2/4 ግጥሚያዎች) ግምት ውስጥ ማስገባት።
- የውፍረት ክልል፡ 0.005–0.01 mm —— ቀጭን ሳህኖች በአብዛኛው የተቀረጹ ክፍሎች ናቸው (የመታጠፍ መመለስን እና የጥልቅ መሳብ ስንጥቅን ግምት ውስጥ ያስገቡ)፣ ወፍራም ሳህኖች በአብዛኛው የተጣበቁ መዋቅሮች ናቸው (የሙቀት ግብዓትን እና ስሜትን ግምት ውስጥ ያስገቡ)።
የተለመዱ ጉዳዮች
ሴሚኮንዳክተር UHP 316L፡ ለSEMI F20 የሰልፈር/ኦክስጅን/ቆሻሻዎች/Ra ገደቦች የትኛው አይዝጌ ብረት በአብዛኛው ጥቅም ላይ ይውላል?
በጠቅላላ ገጾች ላይ በመመስረት፣ ከፍተኛዎቹ ደረጃዎች 316L (4) እና 304L (1) ናቸው። ለአንድ ክፍል ልዩ የሆነው አሁንም በመካከለኛው እና በሙቀት መጠን ላይ ይመሰረታል፤ ለምሳሌ፣ ከጨው ውሃ ጋር የሚገናኙ አይዝጌ የጠረጴዛ ላይ ገጽታዎች ከ304 ወደ 316L መቀየር አለባቸው።
የትኞቹ ክፍሎች ለችግሮች በቀላሉ የተጋለጡ ናቸው?
በውድቀት መግለጫዎች ላይ በመመስረት፣ የተለመደው "UHP ጋዝ ማስተላለፊያ ቱቦዎች" ነው፡ የቅንጣት/የብረት አዮን ብክለት ዋና ውድቀት ነው፤ የጥራጥሬ መካከል ያለ ዝገት/HAZ ብየዳዎች ሁለተኛ ደረጃ ግን ችላ መባል የለባቸውም፤ የሚመከር ደረጃ 316L VIM-VAR፣ ዝርዝር መግለጫዎች S ≤0.005–0.010%; O≤7ppm; ቆሻሻዎች ASTM E45 A/B/C/D ጥሩ ተከታታይ ≤0.5 ደረጃ። ለዚህ ሁኔታ፣ በንድፍ ደረጃ ወቅት መካከለኛ ትኩረትን፣ የሙቀት መጠንን እና የጽዳት ዘዴን ይግለጹ።
የትኛውን ውፍረት መምረጥ አለብኝ?
በዝርዝሩ ውስጥ ያለው የውፍረት ክልል 0.005–0.01 mm ነው። ለቀጭን ሳህኖች፣ የመቅረጽ ችሎታን እና የገጽታ ጥራትን ግምት ውስጥ ያስገቡ፤ ለወፍራም ሳህኖች፣ የብየዳ ጥንካሬን እና የመዋቅር ትክክለኛነትን ግምት ውስጥ ያስገቡ። እሴቶች ለተመሳሳይ ክፍል በመሳሪያ አምራች ሊለያዩ ይችላሉ፤ ስዕሎችዎን ወይም ሁኔታዎችዎን ይገምግሙ።